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    工艺腔室主体

    用于承载晶圆进行各种加工和处理。‌基座是半导体工艺设备中的一个关键组件,‌它的设计和性能对半导体制造过程至关重要,是确保产品质量和生产效率的重要基础。

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    工艺腔室主体
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    • 质量管理

    产品特点

    高精密

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    高密封性要求

    制造工序繁琐

    制造工序繁琐

    需多次焊接及加工

    产品参数

    材料 不锈钢
    焊接方式 电子束
    表面处理 电抛+氦测

    质量管理

    富创质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。

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