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双螺旋ALD喷涂匀气盘

应用于ALD,进行伽马γ合金沉积的设备中,该产品拥有超高洁净度及优秀的气体流量分配,进而沉积出致密的γ金属沉积物。

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产品特点

高精度的气体流量一致性

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(STD<20mTorr)

双螺旋通道精密加工、微孔五轴圆弧面加工微孔自动化量测、高洁净清洗

特殊氧化铝ALD涂层喷涂

特殊氧化铝ALD涂层喷涂

5-500nm厚度

国内首家具备此种高致密零孔隙涂层的量产能力

高洁净度

高洁净度

Particle@0.2um<15ea/cm2

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